我国研发全球最薄气压计成为全球唯一一款针对消费电子的CMOS-MEMS单芯片集成气压计

我国研发全球最薄气压计，基于业界最先进的单芯片集成MEMS技术，使其成为全球唯一一款针对消费电子的CMOS-MEMS单芯片集成气压计。

光学MEMS技术自上世纪80年代左右起步以来，基于MEMS技术而研制的一大批光学仪器，为光学产业及仪器仪表产业发展带来了新的发展动力和机遇。

近日又有一款基于MEMS技术的全球领先产业于国内诞生，中国科学院西安光学精密机械研究所与其参股公司丽恒光微电子科技有限公司共同宣布，联合推出全球最薄气压计PS2606。

气压计PS2606是全球唯一一款针对消费电子的CMOS-MEMS单芯片集成气压计，整个传感器厚度仅为0.65毫米。产品以业界最先进的单芯片集成 MEMS技术，具有测量精确度高、系统稳定性好、抗干扰能力强、低功耗、体积小等优点。该气压计还拥有完全自主知识产权，是国产传感器的杰出代表。其中 CMOS-MEMS单芯片集成传感器技术-CeMEMS，是丽恒光微独创的，包括已授权和获准申请专利超过160件。

PS2606主要参数：

（1）气压量程：30~110kPa；

（2）封装形式：8-pinLGA封装，封装尺寸2.0×2.5×0.65mm；

（3）相对精度： /-1m（95~105kPa，25℃）；

（4）绝对精度： /-0.1kPa（95~105kPa，0~40℃）；

（5）电源电压：VDD1.71~3.6V；VDDIO1.2~3.6V；

（6）输出接口：I2C，SPI；

（7）功耗：2.7μA@1Hz采样率；

（8）工作温度：-40~85℃。

丽恒光微总经理、中科院西安光机所微纳研究中心副主任毛剑宏表示：“经过多年的研发和经营，丽恒光微利用上下游产业优势，成功串联起从MEMS传感器设计到MEMS传感芯片制造以及传感器封装测试等一条完整的MEMS传感器产品供应链。气压计PS2606是丽恒光微推出的第二款系列产品，未来将推出更多新产品满足市场需求。”

丽恒光微曾在早前已经研发了一代PS1606，是一款高性能，低成本的电容式绝对压力传感器，是30~110千帕数字输出电容式CMOS-MEMS高精度压力传感器，为PS2606气压计（高度计）做技术支持。

据悉，PS2606于2014年底开始样本出货及客户推广，预计2015年第一季度可投入规模量产。