TESCOM 64-3600 系列高灵敏度调压器 减压阀
TESCOM 64-3600 系列高灵敏度调压器
TESCOM 64-3600 系列高灵敏度调压器
64-3600 系列超高纯度、高灵敏度减压型调压器提供低压降、束缚隔膜设计，具备 10 Ra/0.25 微米表面光洁度。 进口压力为 600 或 3500 psig（41.4 bar 或 241 bar），出口压力可高达 150 psig (10.3 bar)。
规格
压力额定值
进口压力上限：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材料
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀座
PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®
阀杆和阀弹簧
316 不锈钢
其他部件
316L 不锈钢
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40 至 160°F / -40 至 71°C
Vespel® 阀座：-40 至 350°F / -40 至 177°C
PCTFE 阀座：-40 至 140°F / -40 至 60°C
接口尺寸和类型
1/4、1/2
外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC
1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.15 或 0.06
重量
2 lbs / 0.9 kg
功能
- 内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸/0.25 微米
- 阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供良好的密封性
- 内部经全面电解抛光处理
- 旨在减少半导体气体系统中的压力波动
- 满足严苛的半导体行业的使用点和
- 气瓶应用要求
