美国厂面对抢水大战台积电规划盖再生水厂
日前外媒报道称,台积电美国新厂坐落的凤凰城北部天气干燥。当地官员估计,若台积电在该处建满6座晶圆厂,每年可能需要多达4933万立方公尺的水,足够供应16万户家庭,而当地水情严峻。由此看来,台积电与也在附近设厂的竞争对手英特尔,除了要抢市场,可能还得抢水。
对此,据台媒中央社报道,台积电表示,公司将建造完备的废水处理及水资源回收系统,积极降低用水量及废水排放量,致力提升整体水资源使用效率。台积电指出,无法回收使用的废水,通过系统进行最终废水处理,废水排放浓度优于亚利桑那州政府要求的放流水标准。台积电表示,除进行多层次的水资源回收与再利用处理,在当地也有建设再生水厂计划。
据悉,半导体产业是名副其实的“水老虎”,在制造过程中需要依赖大量的水源,尤其是半导体制程需要使用超纯水(Ultrapure water),而制作超纯水的过程要使用几倍的自来水,用水量相当惊人。且为了提高12英寸晶圆厂的制程良率,以往是每25片晶圆集中清洗,后来就改成一片片单独清洗,大幅提高良率。