VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪
产品介绍VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为2″，放置样品的直径为Ø50mm，加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
产品型号
VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪安装条件本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：不需要
2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地
3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶
4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
5、通风装置：需要
主要特点
1、PLC控制面板，4.3″触摸屏，PID控温方式。
2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。
3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。
4、已通过CE认证。
技术参数
1、输入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵）
2、输出功率：1600VDC 50mA（最大电流）
3、石英罩：Ø160mm×120mm
4、样品台：Ø50mm（可选购加热型样品台，最高温度可到500℃；最长溅射时间不可超过5min）
5、真空泵：120L/M旋片式真空泵
6、进气口：装有精密可调针阀，以实现方便的调节进气量
7、靶材：尺寸直径Ø47mm，厚度0.1mm-3mm；可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可溅射氧化物、半导体、一些轻
金属、Al、Zn、C等
产品规格
尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg
可选配件
1、KF25真空接口、卡箍
2、不锈钢波纹管（600mm）
3、旋片式真空泵（120L/M）
4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材
5、加热型样品台
