内容预览：微操作器是微操作机器人的关键部件，本文基于压电扫描器的工作原理，研制出压电陶瓷管驱动的三自由度微操作器，通过对四分压电陶瓷管的变形进行静力学分析，建立了微操作器微位移量与驱动电压的关系模型，研制出微位移检测电路，实现了微操作器机构、驱动、检测的集成化，设计了微位移闭环控制实验系统，对微操作器进行了静态、动态测试，得到了微操作器的主要性能指标。实验表明，所研制的微操作器能够满足微纳米定位精度的微操作需要。
下载：  集成式微操作器的研制.pdf (429.05 KB)
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