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VIEW BenchMark 450影像测量仪

产品介绍 BenchMark 450 主要技术参数

XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米

Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 ( 带TTL激光和可选5倍镜头)

英制单位

公制单位

测量范围

18" X18"X6"

450X450x150毫米

尺寸

48" X45"X67"

1210X1140X1700毫米

负载能力

65千克

台面分辨率

0.5微米

光学

双重放大 (物镜 X)

0.8

1.0

2.5

5.0

10.0

25.0

3.2

4.0

10.0

20.0

40.0

100.0

标配物镜

1X

可选物镜

0.8X,2.5X,5X

照明

LED 背光,LED 同轴面光

可选特征

多色可编程环形灯 (PRL)

Ronchi 栅格自动ju jiao

TTL 激光

旋转分度工作台

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